搜索關鍵詞: 氮化硅陶瓷加工 氮化鋁陶瓷加工 macor可加工微晶玻璃陶瓷
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近年來,隨著國家政策的調整,半導體產業(yè)發(fā)展迅速,產業(yè)規(guī)模快速增長,半導體制造設備不斷向精密化、復雜化發(fā)展,對高精度陶瓷關鍵部件的技術要求越來越高。目前,中國有數(shù)百家半導體設計和制造商,但大部分半導體設備和關鍵精密部件依賴進口,這極大地制約了國內半導體產業(yè)的發(fā)展。高精度陶瓷零件的價值占半導體設備的10%以上,全球市場約為100億美元,幾乎完全被美、日、韓等國外企業(yè)壟斷。中國半導體產業(yè)要實現(xiàn)高質量發(fā)展,就必須有自己的關鍵核心技術和產業(yè)資源支撐,開展半導體裝備用氧化鋁精密陶瓷產品的開發(fā),其經(jīng)濟價值和戰(zhàn)略價值都非常重要。
此外,陶瓷機械臂在半導體器件中起搬運作用,相當于半導體器件的機械手,負責將晶圓硅片搬運到指定位置。由于硅片極容易受到其他顆粒的污染,所以一般在真空環(huán)境中進行。氧化鋁陶瓷和碳化硅陶瓷具有致密、高硬度、高耐磨性的物理性能,以及良好的耐熱性、優(yōu)異的機械強度,在高溫環(huán)境下仍具有良好的絕緣性、良好的耐腐蝕性等物理性能,是用來制造半導體設備機械臂的優(yōu)良材料。從材料性能來看,碳化硅陶瓷更適合制作陶瓷機械臂,但從材料價格、加工難度等經(jīng)濟方面來看,氧化鋁陶瓷機械臂更具性價比。